Półprzewodnikowe sondy i chipy ultradźwiękowe

Sondy ultradźwiękowe oparte na półprzewodnikach (MEMS, CMUT) zintegrowane z elektroniką na poziomie wafelka — zastępujące klasyczne sondy piezoelektryczne pojedynczym, wieloczęstotliwościowym chipem.

Podkategoria komponentów ultradźwiękowych opartych na półprzewodnikach: capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) lub piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT) wytwarzanych na układach CMOS przy użyciu standardowych procesów produkcji półprzewodników. Wafer-level integration tysięcy mikroelementów przetwornikowych z elektroniką sterującą eliminuje setki analogowych przewodów wymaganych w klasycznych sondach piezoelektrycznych, pozwala na pracę w szerokim zakresie częstotliwości (np. 1-12 MHz) z pojedynczego urządzenia oraz obniża koszt jednostkowy dzięki skali produkcji półprzewodników. Stosowane w sondach POCUS handheld, pełnociałowych skanerach USCT, sondach przemysłowych oraz urządzeniach wszczepialnych.